나노 포커스 프로브 NFP

초정밀 공초점 센서

Name: Nano Focus Probe NFP
Brand: Werth

반사율에 영향을 받지 않는 초정밀 형상 측정 시스템

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기술 사양

센서 원리Optical-axial (confocal microscopy)

정밀도 (MPE)0.15 µm

최대 측정 범위Z-axis 0.25 mm

작동 원리

a) 조명, b) 카메라, c) 핀홀 조리개, d) 결상 광학계를 갖춘 프로브 헤드를 측정물 e)에 대해 상대적으로 이동시키면, 디포커싱을 통해 광점 f), g)의 강도가 변화합니다. 큰 간격 g)을 사용함으로써 디포커싱된 광점 f)의 중첩을 방지합니다. 강도 곡선을 바탕으로 측정물 표면의 많은 측정 포인트를 동시에 산출합니다.

특장점

Nano Focus Probe를 사용하면 측정물 표면을 3D 포인트 클라우드로 포착하고 마이크로 구조물의 크기, 형상, 위치, 거칠기를 평가할 수 있습니다. 미광(stray light) 억제 기능을 통해 반사성 표면에서도 서브마이크로미터 범위의 프로빙 오차로 신뢰성 있는 3D 형상 측정이 가능합니다. 이 공초점 광학 센서는 경사각이 큰 가파른 측면에서도 우수한 결과를 제공합니다.