Werth 간섭계 프로브 WIP
초정밀 비접촉 변위 센서
미세 형상을 위한 초정밀 측정 시스템
기술 사양
센서 원리Optical (short-coherent interferometry)
정밀도 (MPE)0.2 µm
최대 측정 범위300 µm mm
작동 원리
초발광 다이오드 a)와 파이버 커플러 b)를 통해 연결된 측정 프로브 c)를 사용하여, 프로브 출사면 d)과 측정물 표면 e)에서 반사된 빛의 시간차 정보가 센서로 전송됩니다. 측정물 표면 e)의 정보는 간섭계(결상 광학계 f), 빔 스플리터 g), 미러 h)와 i), 원통형 렌즈 j))를 거쳐 라인 카메라 k)에 투사되며, 이를 통해 거리가 산출됩니다.
특장점
WIP는 형상, 모양, 거칠기를 초정밀하게 측정하는 비접촉 광섬유 센서입니다. 측정물 표면을 프로빙하는 데 필요한 출사 각도에 맞춰 프로브 형상을 개별적으로 조정할 수 있습니다. WIP는 작은 프로브 치수 덕분에 작고 접근이 어려우며 깊은 형상을 포착하는 데 특히 적합하여, 마이크로 형상 측정에 대한 Werth의 특별한 전문성의 한 축을 이룹니다.
- Rotating Sensor 버전의 WIP는 회전 가능한 프로브로써 초정밀 진원도 측정 가능
- 금속 튜브 내에 파이버를 가이드하는 구조 덕분에 깊은 프로빙을 위해 매우 긴 길이의 프로브도 제공 가능
- 프로브의 연마 방식에 따라 측정 빔의 출사 각도가 0°에서 90° 사이로 결정되며, 90° 각도의 프로브는 예를 들어 작은 보어의 측면 측정에 사용
