Đầu dò Nano Focus NFP

Cảm biến đồng tiêu siêu chính xác

Name: Nano Focus Probe NFP
Brand: Werth

Hệ thống đo hình dạng siêu chính xác không bị ảnh hưởng bởi độ phản xạ

Yêu cầu demo Danh mục

Thông số kỹ thuật

센서 원리Optical-axial (confocal microscopy)

Độ chính xác (MPE)0.15 µm

Phạm vi đo tối đaZ-axis 0.25 mm

Nguyên lý hoạt động

(a) Đèn chiếu sáng, (b) Camera, (c) Phòng đo chân phẳng, (d) Phòng đo có hệ thống quang học không hợp lý, được di chuyển tương đối với vật đo e) bằng cách chuyển độ mạnh của điểm f và g) bằng cách chuyển độ phân tâm.

Lợi ích chính

Nano Focus Probe cho phép thu nhận bề mặt chi tiết dưới dạng đám mây điểm 3D và đánh giá kích thước, hình dạng, vị trí và độ nhám của cấu trúc vi mô. Chức năng triệt ánh sáng lạc cho phép đo hình dạng 3D tin cậy ngay cả trên bề mặt phản xạ, với sai số chạm dò ở mức dưới micromet. Cảm biến quang học đồng tiêu này cũng cho kết quả xuất sắc trên các mặt bên dốc có góc nghiêng lớn.

Các cảm biến có thể được điều chỉnh cho từng công việc với các ống kính khác nhau, cảm biến có thể được sử dụng trong toàn bộ hệ thống đo lường của máy đo ba chiều, kết nối kết quả đo lường với cùng một hệ thống điều chỉnh, có thể được sản xuất trên toàn bộ bề mặt từ nhiều đám mây điểm phần lân cận mà không có ít mất độ chính xác.