마이크로 기어는 표준화된 형상을 가지며, DIN 3962에 따라 측정이 수행됩니다. 특히 플라스틱 기어에서는 모듈(module)이 약 0.03 수준으로 매우 작을 수 있습니다. 치형 형상 편차(profile form deviation), 잇줄 편차(flank line deviation), 피치(pitch)를 측정합니다.
마이크로 기어는 공차가 수 마이크로미터 범위에 있으며, 측정 시간은 고려되지만 부차적입니다. 주로 접촉식(접촉) 측정에 의존하다 보니 측정물을 견고하게 고정(rigid holding)하는 것이 어려운 과제입니다. 미세한 치형 특성상 저측정력 스캐닝 프로브나 광섬유 프로브를 사용하면 접촉 변형을 최소화할 수 있으며, 내부 형상까지 필요할 경우 3D CT으로 비파괴 측정을 병행할 수 있습니다.
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