유리 표준기는 다양한 크기의 직선(직진도)과 원으로 구성되며 형상 오차와 표면 거칠기 사양이 매우 까다롭습니다. 매우 높은 정확도의 측정 장비를 교정하는데 사용되므로, 측정 불확도 요구가 극도로 높습니다.
크롬 증착·에칭으로 형성된 직선·원형 패턴은 형상 오차가 서브 µm 수준이므로, 텔레센트릭 광학과 정밀 이미지 프로세싱을 결합해 에지 위치를 안정적으로 판독하는 것이 핵심입니다. 대형 면적의 교정 표준기기는 FlatScope 2D 스캐닝을 통해 전면을 한 번에 고분해능으로 스캔해 교정 효율을 높이며, 온도·진동 영향을 최소화한 환경 관리가 극한의 측정 불확도 유지에 함께 요구됩니다.
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