Chuẩn kính gồm các đường thẳng (độ thẳng) và đường tròn có kích thước khác nhau, với yêu cầu rất khắt khe về sai lệch hình dạng và độ nhám bề mặt. Vì được dùng để hiệu chuẩn thiết bị đo có độ chính xác rất cao, yêu cầu về độ không đảm bảo đo cực kỳ cao.
Các mẫu đường thẳng và tròn tạo bằng lắng đọng và khắc crôm có sai lệch hình dạng ở mức dưới micromet. Vì vậy, việc kết hợp quang học telecentric với xử lý ảnh chính xác là then chốt để đọc ổn định vị trí cạnh. Đối với chuẩn hiệu chuẩn diện tích lớn, quét FlatScope 2D quét toàn bộ bề mặt độ phân giải cao trong một lần để nâng hiệu quả hiệu chuẩn; đồng thời cần kiểm soát môi trường để giảm thiểu ảnh hưởng của nhiệt độ và rung động nhằm duy trì độ không đảm bảo đo cực thấp.
Hệ thống đề xuất
