파이버 커플러의 홀은 직경이 작아 접촉식 스타일러스로는 형상을 측정할 수 없습니다. 홀의 직경, 위치, 형상을 측정해야 하며, 공차가 수 µm 범위에 있어 측정 정밀도와 속도에 대한 요구가 매우 높습니다.
이러한 미세 홀 측정에는 Werth의 이미지 프로세싱 기반 초고속 래스터 스캐닝 기술이 핵심으로 적용되어, 최대 2만 메가픽셀 해상도로 100만 개의 기하학적 특성을 수 분 내에 측정하여 검사 시간을 획기적으로 단축합니다. 또한, 공초점 센서를 병용하면 홀 깊이와 형상까지 신뢰성 있게 평가할 수 있습니다.
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