Dụng cụ dập vuốt sâu và đột là tổ hợp chày và cối dùng để tạo hình hoặc đột phôi tấm. Chày phải khớp chính xác với biên dạng cối; với dung sai chặt 5–10 µm, yêu cầu về độ tin cậy đo rất cao. Độ khớp khe hở giữa chày và cối quyết định chất lượng tạo hình và sự phát sinh ba via, vì vậy việc so sánh hai bộ phận theo cùng một chuẩn là then chốt.
Xử lý ảnh quang học thu nhận biên dạng, còn đầu dò quét tiếp xúc bổ sung thông tin hình học thành bên để xác minh chính xác. Trục thu hồi đầu dò và trục thu hồi bộ thay đầu dò cải thiện khả năng tiếp cận các hốc sâu.
Hệ thống đề xuất
